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Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论 | |
赵亚溥; 王立森; 孙克豪 | |
发表期刊 | 力学进展 |
2000 | |
卷号 | 30期号:4页码:529 |
摘要 | 重点介绍在MEMS中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论。通过以两个无量纲数-Tabor数μ(以及其相应形式)和粘着数θ的分析,以及考虑它们对于粘着力的影响,指出了粘着弹性接触理论中所隐含 的尺度效应,随着特征尺度的减小,粘着弹性接触中的表面效应愈加明显。; 微电子机械系统(MEMS)等领域的飞速发展,促使我们迈进了一个表面效应在许多现象中占主导地位的研究领域。本文重点介绍在MEMS中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论。通过对两个无量纲数-Tabor数μ(以及其相应形式)和粘着数θ的分析,以及考虑它们对于粘着力的影响,指出了粘着弹性接触理论中所隐含的尺度效应,随着特征尺度的减小,粘着弹性接触中的表面效应愈加明显。 |
关键词 | Mems 尺度效应 表面效应 微尺度粘着接触 Tabor数 粘着数 晶片键合 |
学科领域 | 力学 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:703616 |
引用统计 | |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/11361 |
专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵亚溥,王立森,孙克豪. Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论[J]. 力学进展,2000,30,4,:529. |
APA | 赵亚溥,王立森,&孙克豪.(2000).Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论.力学进展,30(4),529. |
MLA | 赵亚溥,et al."Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论".力学进展 30.4(2000):529. |
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Tabor数_粘着数与微尺度粘着弹性接触(498KB) | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 |
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