Knowledge Management System of Institue of Mechanics, CAS
| Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论 | |
赵亚溥 ; 王立森; 孙克豪
| |
| 发表期刊 | 力学进展
 |
| 2000 | |
| 卷号 | 30期号:4页码:529 |
| 摘要 | 重点介绍在MEMS中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论。通过以两个无量纲数-Tabor数μ(以及其相应形式)和粘着数θ的分析，以及考虑它们对于粘着力的影响，指出了粘着弹性接触理论中所隐含 的尺度效应，随着特征尺度的减小，粘着弹性接触中的表面效应愈加明显。; 微电子机械系统（MEMS）等领域的飞速发展，促使我们迈进了一个表面效应在许多现象中占主导地位的研究领域。本文重点介绍在MEMS中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论。通过对两个无量纲数-Tabor数μ（以及其相应形式）和粘着数θ的分析，以及考虑它们对于粘着力的影响，指出了粘着弹性接触理论中所隐含的尺度效应，随着特征尺度的减小，粘着弹性接触中的表面效应愈加明显。 |
| 关键词 | Mems 尺度效应 表面效应 微尺度粘着接触 Tabor数 粘着数 晶片键合 |
| 学科领域 | 力学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:703616 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/11361 |
| 专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵亚溥,王立森,孙克豪. Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论[J]. 力学进展,2000,30,4,:529. |
| APA | 赵亚溥,王立森,&孙克豪.(2000).Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论.力学进展,30(4),529. |
| MLA | 赵亚溥,et al."Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论".力学进展 30.4(2000):529. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| Tabor数_粘着数与微尺度粘着弹性接触（498KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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