IMECH-IR  > 力学所知识产出(1956-2008)
一种矩形微米流道的加工与流量测定
郭强; 李振国
发表期刊郑州大学学报(工学版)
2006
期号4页码:116-120
ISSN1671-6833
摘要介绍了一种比较成熟的矩形微米流道(微槽道)加工工艺,利用厚胶光刻工艺在硅片上制备胶模板,进而在该模板上用高分子聚合物PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)制作了微米量级的微槽道(高、宽范围20~100μm),对制备的微槽道的几何精确度进行了20×100倍放大显微观测,对其流量特性进行了实验测定.实验结果与泊肃叶理论公式(NS方程的管流表达式)相对比,可以看到在微米量级的矩形微流道中,泊肃叶公式仍然适用.
学科领域力学
收录类别国内刊物
文献类型期刊论文
条目标识符http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/16384
专题力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式
GB/T 7714
郭强,李振国. 一种矩形微米流道的加工与流量测定[J]. 郑州大学学报(工学版),2006,4,:116-120.
APA 郭强,&李振国.(2006).一种矩形微米流道的加工与流量测定.郑州大学学报(工学版)(4),116-120.
MLA 郭强,et al."一种矩形微米流道的加工与流量测定".郑州大学学报(工学版) .4(2006):116-120.
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