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一种矩形微米流道的加工与流量测定 | |
郭强; 李振国 | |
发表期刊 | 郑州大学学报(工学版) |
2006 | |
期号 | 4页码:116-120 |
ISSN | 1671-6833 |
摘要 | 介绍了一种比较成熟的矩形微米流道(微槽道)加工工艺,利用厚胶光刻工艺在硅片上制备胶模板,进而在该模板上用高分子聚合物PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)制作了微米量级的微槽道(高、宽范围20~100μm),对制备的微槽道的几何精确度进行了20×100倍放大显微观测,对其流量特性进行了实验测定.实验结果与泊肃叶理论公式(NS方程的管流表达式)相对比,可以看到在微米量级的矩形微流道中,泊肃叶公式仍然适用. |
学科领域 | 力学 |
收录类别 | 国内刊物 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/16384 |
专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭强,李振国. 一种矩形微米流道的加工与流量测定[J]. 郑州大学学报(工学版),2006,4,:116-120. |
APA | 郭强,&李振国.(2006).一种矩形微米流道的加工与流量测定.郑州大学学报(工学版)(4),116-120. |
MLA | 郭强,et al."一种矩形微米流道的加工与流量测定".郑州大学学报(工学版) .4(2006):116-120. |
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