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Title:
Measurement of Mechanical Properties of MEMS Materials
Author: Zhang TH(张泰华) ; Yang YM(杨业敏) ; Zhao YP(赵亚溥) ; Bai YL(白以龙)
Source: 力学进展
Issued Date: 2002
Volume: 32, Issue:4, Pages:545-562
Abstract: 微电子机械系统(MEMS)技术的迅速崛起,推动了所用材料微尺度力学性能测试技术的发展.首先按作用方式将实验分成压痕/划痕、弯曲、拉伸、扭转四大类,系统介绍检测MEMS材料微尺度力学性能的微型试样、测试方法及其实验结果.测试材料主要有硅、氧化硅、氮化硅和一些金属.实验结果主要包括基本的力学性能参数如弹性模量、残余应力、屈服强度、断裂强度和疲劳强度等.最后,简要分析了未来的发展需求.
Indexed Type: 其他
ISSN: 1000-0992
Subject: 力学
Content Type: 期刊论文
URI: http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/16577
Appears in Collections:力学所知识产出(1956-2008)_期刊论文

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Zhang TH,Yang YM,Zhao YP,et al. Measurement of Mechanical Properties of MEMS Materials[J]. 力学进展,2002-01-01,32(4):545-562.
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