Knowledge Management System of Institue of Mechanics, CAS
| MEMS器件的计算机辅助设计与模拟 | |
孙克豪 ; 钱劲; 张立宪; 余同希; 赵亚溥
| |
| 发表期刊 | 机械强度
 |
| 2001-12-30 | |
| 卷号 | 23期号:4页码:488 |
| ISSN | 1001-9669 |
| 摘要 | 概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程，分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题，讨论了目前经常采用的各种模拟系 统的模拟形式和应 用范围。并结合静电微马达与微米/纳米镊子实例，分析了模块化的CAD软件结构形式以及所用MEMS材料的数据库建立和应用连接，所提出并采用的开发方式适用于微传感器及微执行器等微系统器件的设计与模拟。 |
| 关键词 | 微电子机械系统 计算机辅助设计 模拟 数据库 |
| 收录类别 | EI ; CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:681647 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/40064 |
| 专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
| 通讯作者 | 孙克豪 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙克豪,钱劲,张立宪,等. MEMS器件的计算机辅助设计与模拟[J]. 机械强度,2001,23,4,:488. |
| APA | 孙克豪,钱劲,张立宪,余同希,&赵亚溥.(2001).MEMS器件的计算机辅助设计与模拟.机械强度,23(4),488. |
| MLA | 孙克豪,et al."MEMS器件的计算机辅助设计与模拟".机械强度 23.4(2001):488. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 36.pdf（538KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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