IMECH-IR  > 力学所知识产出(1956-2008)
微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术
何小元; 康新; 衡伟; 黄庆安
Source Publication机械强度
2001-12-30
Volume23Issue:4Pages:447-451
Abstract介绍了微电子和微电子机械系统 (MEMS)中几种常用的变形和形貌测量方法以及相关的测量设备。其中相移云纹干涉技术用于微电子器件的面内位移测量 ,灵敏度可达到纳米量级。显微栅线投影技术用于MEMS的离面变形和形貌测量 ,灵敏度可达 0 .1微米。
Keyword微电子机械系统 微电子 光测力学
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41186
Collection力学所知识产出(1956-2008)
Corresponding Author何小元
Recommended Citation
GB/T 7714
何小元,康新,衡伟,等. 微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术[J]. 机械强度,2001,23(4):447-451.
APA 何小元,康新,衡伟,&黄庆安.(2001).微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术.机械强度,23(4),447-451.
MLA 何小元,et al."微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术".机械强度 23.4(2001):447-451.
Files in This Item: Download All
File Name/Size DocType Version Access License
597.pdf(452KB) 开放获取--View Download
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[何小元]'s Articles
[康新]'s Articles
[衡伟]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[何小元]'s Articles
[康新]'s Articles
[衡伟]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[何小元]'s Articles
[康新]'s Articles
[衡伟]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: 597.pdf
Format: Adobe PDF
This file does not support browsing at this time
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.