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微梁谐振器中的空气阻尼 | |
其他题名 | Air damping in micro-beam resonators |
冯闯; 赵亚溥; 刘冬青 | |
发表期刊 | 北京科技大学学报 |
2007-08-15 | |
卷号 | 29期号:8页码:841-844 |
ISSN | 1001-053X |
摘要 | 为了研究空气阻尼对谐振器工作性能的影响,基于Euler-Bernoulli假设、梁弯曲振动理论和气体阻尼理论,建立了考虑气体阻尼的梁振动方程,结合边界条件对方程进行了求解,得到了两种不同情况下气体阻尼对微梁谐振器的谐振频率和品质因子的影响.通过两种阻尼对谐振器影响的比较分析,指出在梁形状保持不变(长宽比和高宽比不变)情况下,微梁谐振器存在一个临界压膜厚度,此临界厚度可为器件的设计提供参考. |
关键词 | 微谐振梁 空气阻尼 谐振频率 品质因子 |
收录类别 | EI ; CSCD |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:2913548 |
引用统计 | |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41192 |
专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
通讯作者 | 冯闯 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯闯,赵亚溥,刘冬青. 微梁谐振器中的空气阻尼[J]. 北京科技大学学报,2007,29,8,:841-844. |
APA | 冯闯,赵亚溥,&刘冬青.(2007).微梁谐振器中的空气阻尼.北京科技大学学报,29(8),841-844. |
MLA | 冯闯,et al."微梁谐振器中的空气阻尼".北京科技大学学报 29.8(2007):841-844. |
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