IMECH-IR  > 力学所知识产出(1956-2008)
微梁谐振器中的空气阻尼
其他题名Air damping in micro-beam resonators
冯闯; 赵亚溥; 刘冬青
发表期刊北京科技大学学报
2007-08-15
卷号29期号:8页码:841-844
ISSN1001-053X
摘要为了研究空气阻尼对谐振器工作性能的影响,基于Euler-Bernoulli假设、梁弯曲振动理论和气体阻尼理论,建立了考虑气体阻尼的梁振动方程,结合边界条件对方程进行了求解,得到了两种不同情况下气体阻尼对微梁谐振器的谐振频率和品质因子的影响.通过两种阻尼对谐振器影响的比较分析,指出在梁形状保持不变(长宽比和高宽比不变)情况下,微梁谐振器存在一个临界压膜厚度,此临界厚度可为器件的设计提供参考.
关键词微谐振梁 空气阻尼 谐振频率 品质因子
收录类别EI ; CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:2913548
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文献类型期刊论文
条目标识符http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41192
专题力学所知识产出(1956-2008)
通讯作者冯闯
推荐引用方式
GB/T 7714
冯闯,赵亚溥,刘冬青. 微梁谐振器中的空气阻尼[J]. 北京科技大学学报,2007,29,8,:841-844.
APA 冯闯,赵亚溥,&刘冬青.(2007).微梁谐振器中的空气阻尼.北京科技大学学报,29(8),841-844.
MLA 冯闯,et al."微梁谐振器中的空气阻尼".北京科技大学学报 29.8(2007):841-844.
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