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过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜
Author: 李成明 ; 张勇 ; 李桂英 ; 曹尔妍 ; 吕反修
Source: 中国有色金属学报
Issued Date: 2003-02-20
Volume: 13, Issue:1, Pages:167-171
Abstract: 用过滤电弧技术在高速钢表面沉积了TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜 ,用扫描电镜 (SEM )观察了截面和断口形貌及划痕后的形貌。使用俄歇电子谱仪进行剥层成分分析 ,用纳米压痕仪测试了多层膜和单层膜的显微硬度和弹性模量。结果表明 ,在调制周期大于 10 0nm时 ,多层膜的显微硬度符合Hall Petch关系 ,在 80nm时 ,则脱离线性关系。划痕法测试多层膜的结合力达到 80N。
Keyword: 显微硬度 ; 结合力 ; 多层膜
Language: 中文
Corresponding Author: 李成明
Content Type: 期刊论文
URI: http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41720
Appears in Collections:力学所知识产出(1956-2008)_期刊论文

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李成明,张勇,李桂英,等. 过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜[J]. 中国有色金属学报,2003-02-20,13(1):167-171.
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