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| 微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究 | |
陈吉安; 杨春生; 周勇; 丁桂甫; 王莉 ; 王明军; 张亚民; 张泰华
| |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 2003-09-30 | |
| 期号 | 3页码:66-71 |
| 摘要 | 采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样。采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜的弹性模量及残余应力,分别为190GPa和87MPa。与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量(186.8±7.5)GPa相符合。 |
| 关键词 | Ni膜微桥 Meme技术 力学特性 |
| 语种 | 中文 |
| 项目资助者 | 国家重点基础研究发展规划(973)资助项目(G1999033103) |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/42230 |
| 专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
| 通讯作者 | 陈吉安 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈吉安,杨春生,周勇,等. 微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究[J]. 微细加工技术,2003,3,:66-71. |
| APA | 陈吉安.,杨春生.,周勇.,丁桂甫.,王莉.,...&张泰华.(2003).微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究.微细加工技术(3),66-71. |
| MLA | 陈吉安,et al."微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究".微细加工技术 .3(2003):66-71. |
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