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	纳米压痕仪的载荷精度研究
	郇勇; 刘东旭; 杨荣; 张泰华
会议录名称	中国力学学会学术大会'2009论文摘要集.中国力学学会,2009,p.150-151
	2009-08-24
页码	150-151
会议名称	中国力学学会学术大会'2009
会议日期	2009-08-24
会议地点	中国河南郑州
摘要	<正>以MTS Nano Indenter(?)XP为例,研究发现了影响电磁式纳米压痕仪载荷精度的两个重要因素。其一,磁场的均匀性。在实验位移范围内磁场必须是均匀的,这是电磁计量载荷的理论基础。校准实验结果显示,NanoIndenter(?)XP在0.45mm位移行程内的非均匀性为0.24%。即,在0.45mm位移行程内磁场均匀性给载荷
关键词	纳米压痕仪 载荷 精度 测量 误差
资助信息	国家自然科学基金项目(10602058) ; 非线性力学国家重点实验室青年基金资助
语种	中文
文献类型	会议论文
条目标识符	http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/43083
专题	非线性力学国家重点实验室
通讯作者	郇勇
推荐引用方式 GB/T 7714	郇勇,刘东旭,杨荣,等. 纳米压痕仪的载荷精度研究[C]中国力学学会学术大会'2009论文摘要集.中国力学学会,2009,p.150-151,2009:150-151.

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