Knowledge Management System of Institue of Mechanics, CAS
| 入射角度扫描椭偏成像测量方法和装置 | |
靳刚 ; 孟永宏
| |
| 2008-02-20 | |
| 专利权人 | 中国科学院力学研究所 |
| 摘要 | 本发明涉及一种入射角度扫描椭偏成像装置和方法，入射光轴与出射光轴相交于待测样品上一点并形成入射面，待测样品垂直于入射面；入射部分和出射部分中的各光学器件共轴安装在二者确定的光轴上；入射部分发出的扩展的准直、准单色偏振光束，照明到待测样品上，样品对入射光的偏振态进行调制后发出反射的偏振光束，该光束进入出射部分中再次进行偏振态的调制后成像在图像传感器上形成图像的电信号；此电信号进入图像处理及系统控制部分进行图像采集、显示及分析处理，计算机对系统中的各运动部件进行驱动、控制，并接收运动反馈，从而实现对对纳米薄膜表面形貌的多个参数进行定性或定量测量。 |
| 申请日期 | 2004-05-18 |
| 授权日期 | 2012-12-28 |
| 专利号 | ZL2004100382619 |
| 语种 | 中文 |
| 授权国家 | 中国 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/45961 |
| 专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 靳刚,孟永宏. 入射角度扫描椭偏成像测量方法和装置. ZL2004100382619[P]. 2008-02-20. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 200410038261.9.pdf（1263KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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