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多弧离子镀TiN和(TiZrCr)N膜中宏观颗粒的SEM分析 | |
李成明; 张勇; 曹尔妍 | |
会议录名称 | 第十一次全国电子显微学会议论文集 |
2000 | |
页码 | 565-566 |
会议名称 | 第十一次全国电子显微学会议 |
会议日期 | 2000-6-30 |
会议地点 | 中国云南昆明 |
关键词 | 宏观颗粒 大颗粒 直流偏压 表面形貌 0 颗粒密度 00 脉冲偏压 复合膜 0 颗粒形状 颗粒直径 熔池 |
课题组名称 | 力学所 |
语种 | 中文 |
文献类型 | 会议论文 |
条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/48100 |
专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李成明,张勇,曹尔妍. 多弧离子镀TiN和(TiZrCr)N膜中宏观颗粒的SEM分析[C]第十一次全国电子显微学会议论文集,2000:565-566. |
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