IMECH-IR  > 力学所知识产出(1956-2008)
粘着接触滞后模型
魏征; 赵亚溥
Source Publication2003年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集
2003
Pages101-101
Conference Name2003年纳米和表面科学与技术全国会议
Conference Date2003-3-1
Conference Place中国北京
Abstract随着微电了机械系统(MEMS)和纳电子机械系统(NEMS)的发展,微纳尺度下的粘着接触问题变得越发重要。许多MEMS器件的制备和运行都表明粘着接触是引起失效的主要因素,同样粘着接触也足影响纳尺度物体力学行为的重要因素。在粘着接触中,接触滞后是一个普遍存在的现象。所谓接触滞后,就是在粘着接触中,使两个粘着
Keyword滞后模型 电子机械 Mems器件 机械系统 0 普遍存在 00 主要因素 0 重要因素 学行 行都 微电
Department力学所
Language中文
Document Type会议论文
Identifierhttp://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/48159
Collection力学所知识产出(1956-2008)
Recommended Citation
GB/T 7714
魏征,赵亚溥. 粘着接触滞后模型[C]2003年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集,2003:101-101.
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