IMECH-IR  > 高温气体动力学国家重点实验室
材料电子束蒸发速率的稳定性实验研究
马月芬; 舒勇华; 王连红; 樊菁
Source Publication第十二届全国物理力学学术会议论文摘要集
2012
Pages47-47
Conference Name第十二届全国物理力学学术会议
Conference Date2012-11-12
Conference Place中国广西桂林
Abstract高速电子束能够得到很高的能量密度并且可以进行有效的电气控制,所以电子束蒸发法已成为高速沉积高纯物质薄膜的一种主要的加热方法。该沉积过程中残余气体压力、蒸发材料的性质、电子束的特性等诸多因素都会影响被蒸发材料的蒸发速率。为了得到更稳定的蒸发速率,本文详细分析了蒸发速率不稳定的因素,并且对Cu,Y,BaF_2三种材料进行了多组蒸发实验,得到了材料性质、蒸发速率、蒸发时间不同时,电子枪阳极高压、材料状态对蒸发速率的影响。实验结果表明:阳极高压稳定性对Cu块蒸发速率的影响不明显,而对熔融态的Y和BaF_2蒸发速率的影响比较明显。当阳极高压稳定在8 kV、蒸发时间为20分钟时,Cu块的蒸发速率比较稳定,...
Keyword电子束蒸发 阳极高压 蒸发速率
DepartmentLHD微尺度和非平衡流动
Language中文
Document Type会议论文
Identifierhttp://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/48528
Collection高温气体动力学国家重点实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
马月芬,舒勇华,王连红,等. 材料电子束蒸发速率的稳定性实验研究[C]第十二届全国物理力学学术会议论文摘要集,2012:47-47.
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