IMECH-IR  > 高温气体动力学国家重点实验室
物理气相沉积界面吸附系数与薄膜组分的相互依赖关系
刘崇; 王连红; 马月芬; 舒勇华; 樊菁
Source Publication中国力学大会——2013论文摘要集
2013
Conference Name中国力学大会——2013
Conference Date2013-08-19
Conference Place中国北京
Abstract以YBa_2Cu_3O_(7-δ)高温超导薄膜制备中的组分控制问题为背景,通过电子束三源共蒸发实验定性分析了Y_t,BaF_2和Cu_3种组元的吸附系数对温度、界面组分的依赖关系。结果表明:Y_t和BaF_2的吸附系数与温度、沉积界面组分的相关度非常小;Cu的吸附系数在室温沉积时也与界面组分不相关,而在300℃和600℃下高温沉积时Cu的吸附系数随着BaF_2组分的增大而显著降低。最后,借助分子动力学模拟诠释了上述规律的物理机制。此研究
Keyword物理气相沉积 界面吸附 薄膜 相互依赖关系 系数 组分 高温超导 分子动力学模拟 电子束 沉积界面 蒸发实验 相关度 控制问题 室温 定性分析:组元:物理机制:奠定基础:研究结果:进一步:0
DepartmentLHD微尺度和非平衡流动
Language中文
Document Type会议论文
Identifierhttp://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/48572
Collection高温气体动力学国家重点实验室
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GB/T 7714
刘崇,王连红,马月芬,等. 物理气相沉积界面吸附系数与薄膜组分的相互依赖关系[C]中国力学大会——2013论文摘要集,2013.
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