IMECH-IR  > 非线性力学国家重点实验室
基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试
Alternative TitleIn-plane Bending Performance Test of Micro-Cantilever Based on Whole-Field Displacement Measuring Technique
邵亚琪; 郇勇; 代玉静; 缪泓; 张泰华
Source Publication实验力学
2014
Volume29Issue:4Pages:441-446
Abstract基于自制的微力试验机和全场位移光学测量仪,建立了微尺度力学性能原位测试系统。其中微力试验机基于电磁驱动兼载荷计量原理设计,载荷量程和噪音分别为± 1N 和50μN。全场位移光学测量仪基于白光数字散斑相关方法研制。采用该系统对MEMS 单晶硅(001)微悬臂梁进行了面内弯曲力学性能原位测试,获得了微悬臂梁末梢施力点的力- 位移关系曲线,以及全场变形情况。结果显示,微悬臂梁表现出很好的弹性弯曲行为,最后在根部发生脆性断裂。根据弹性弯曲理论计算出单晶硅弹性模量为123. 8GPa(± 3. 2%) 。该技术为研究MEMS 微构件的力学性能提供了一种有效的手段。
Keyword微尺度 面内载荷 数字散斑相关方法 微电子机械系统 微悬臂梁
Subject Area实验固体力学
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Indexed ByCSCD
Language中文
Funding Organization国家自然科学基金(11372323,11025212和11272318)和中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目资助
CSCD IDCSCD:5225637
DepartmentLNM实验平台
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/49120
Collection非线性力学国家重点实验室
Corresponding Author郇勇
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GB/T 7714
邵亚琪,郇勇,代玉静,等. 基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试[J]. 实验力学,2014,29(4):441-446.
APA 邵亚琪,郇勇,代玉静,缪泓,&张泰华.(2014).基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试.实验力学,29(4),441-446.
MLA 邵亚琪,et al."基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试".实验力学 29.4(2014):441-446.
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