IMECH-IR  > 高温气体动力学国家重点实验室
多源气相共沉积界面原子吸附行为与机理研究
Alternative Title中国科学院力学研究所 高温气体动力学国家重点实验室;
刘崇; 王连红; 舒勇华; 樊菁
Source Publication第十三届全国物理力学学术会议论文摘要集
2014
Conference Name第十三届全国物理力学学术会议
Conference Date2014-10-17
Conference Place中国湖南湘潭
Abstract多源物理气相沉积在功能薄膜制备领域有着广泛的应用,精确控制沉积组分是保证薄膜具有优异性能的先决条件。在沉积生长过程中,各类原子/分子在沉积界面上的吸附几率影响着薄膜的组分比,而在特定条件下沉积界面的组分也会反作用于入射粒子的吸附几率,上述影响因素的耦合增加了组分调控的难度与不确定性。为实现对沉积薄膜组分的有效控制,需要深入研究沉积界面上各类原子或分子的吸附系数随薄膜组分、温度的变化规律。本研究以
Keyword薄膜制备 入射粒子 吸附系数 沉积薄膜 共沉积 影响因素 物理气相沉积 分比 动力学模拟 高温超导
DepartmentLHD微尺度和非平衡流动
Language中文
Document Type会议论文
Identifierhttp://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/52107
Collection高温气体动力学国家重点实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
刘崇,王连红,舒勇华,等. 多源气相共沉积界面原子吸附行为与机理研究[C]第十三届全国物理力学学术会议论文摘要集,2014.
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