IMECH-IR  > 先进制造工艺力学重点实验室
一种用于磁控溅射的高低压转换装置
夏原; 李光; 朱洪亚
2017-02-22
Rights Holder中国科学院力学研究所
Abstract本发明公开了一种高低压转换装置,所述装置包括绝缘支架、输入部分、输出部分、传感器感应装置、气动弹起装置、转轴和转动系统;所述绝缘支架上面固定所述输入部分和所述输出部分的电极,所述输出部分的固定电极和所述转动系统的转轴连接在一起;所述转轴带动传感器感应板在所述传感器感应装置的路径上转动,由传感器控制停止转动,由所述气动装置弹起整个所述转动系统,使输入输出电极连接,从而实现开关功能。本发明实现了在磁控溅射镀膜过程中多次转换偏压的要求。与现有的类似装置比较,此装置的电压转换更加安全可靠,能够实现高压绝缘和40‑50kV高压冲击特性的开关,而且设计有自动控制系统,并合并到磁控溅射总控制系统中
Application Date2014-11-17
Date Available2017-02-22
Patent NumberZL201410652562.4
Language中文
Country中国
Document Type专利
Identifierhttp://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/60007
Collection先进制造工艺力学重点实验室
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GB/T 7714
夏原,李光,朱洪亚. 一种用于磁控溅射的高低压转换装置. ZL201410652562.4[P]. 2017-02-22.
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