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Title:
一种用于磁控溅射的高低压转换装置
Author: 夏原; 李光; 朱洪亚
Available Date: 2014-11-17
Issued Date: 2017-02-22
Country: 中国
Patent Number: ZL201410652562.4
Patent Type: 发明
Abstract: 本发明公开了一种高低压转换装置,所述装置包括绝缘支架、输入部分、输出部分、传感器感应装置、气动弹起装置、转轴和转动系统;所述绝缘支架上面固定所述输入部分和所述输出部分的电极,所述输出部分的固定电极和所述转动系统的转轴连接在一起;所述转轴带动传感器感应板在所述传感器感应装置的路径上转动,由传感器控制停止转动,由所述气动装置弹起整个所述转动系统,使输入输出电极连接,从而实现开关功能。本发明实现了在磁控溅射镀膜过程中多次转换偏压的要求。与现有的类似装置比较,此装置的电压转换更加安全可靠,能够实现高压绝缘和40‑50kV高压冲击特性的开关,而且设计有自动控制系统,并合并到磁控溅射总控制系统中
Language: 中文
Content Type: 专利
URI: http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/60007
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夏原,李光,朱洪亚. 一种用于磁控溅射的高低压转换装置. ZL201410652562.4. 2017-02-22.
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