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Title:
NdFeB表面磁控溅射沉积Al-Mn薄膜的耐蚀性
Author: 白巍栋; 李光; 夏原; 高方圆; 李占贤
Source: 金属热处理
Issued Date: 2017-08-25
Volume: 42, Issue:08, Pages:15-19
Abstract: 在钕铁硼(Nd Fe B)磁体表面利用磁控溅射沉积不同锰含量的铝锰合金薄膜。磁控溅射制备的铝锰合金薄膜表面光滑致密。薄膜结构受到锰含量的影响,当薄膜锰含量从6.80at%上升到25.78at%时,薄膜结构由晶态逐渐转变为非晶态,达到35.67at%时,薄膜中析出金属间化合物Al_8Mn_5。铝锰合金薄膜的耐腐蚀性能受薄膜成分变化的影响很大,当薄膜中锰含量达到25.78%时,此时薄膜呈非晶态结构,薄膜的自腐蚀电流密度达到1.198×10~(-7)A/cm~2,比钕铁硼基体降低了2个数量级,耐腐蚀性能最好。
Keyword: 磁控溅射 ; 钕铁硼磁体 ; 铝锰合金薄膜 ; 耐蚀性
Language: 中文
Indexed Type: CSCD
Rank: 中国科学院力学研究所;华北理工大学机械工程学院;中国科学院大学;
CSCD ID: CSCD:6054900
Citation statistics:
Content Type: 期刊论文
URI: http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/71993
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白巍栋,李光,夏原,等. NdFeB表面磁控溅射沉积Al-Mn薄膜的耐蚀性[J]. 金属热处理,2017-08-25,42(08):15-19.
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