IMECH-IR  > 先进制造工艺力学重点实验室
NdFeB表面磁控溅射沉积Al-Mn薄膜的耐蚀性
白巍栋; 李光; 夏原; 高方圆; 李占贤
2017-08-25
发表期刊金属热处理
卷号42期号:08页码:15-19
摘要在钕铁硼(Nd Fe B)磁体表面利用磁控溅射沉积不同锰含量的铝锰合金薄膜。磁控溅射制备的铝锰合金薄膜表面光滑致密。薄膜结构受到锰含量的影响,当薄膜锰含量从6.80at%上升到25.78at%时,薄膜结构由晶态逐渐转变为非晶态,达到35.67at%时,薄膜中析出金属间化合物Al_8Mn_5。铝锰合金薄膜的耐腐蚀性能受薄膜成分变化的影响很大,当薄膜中锰含量达到25.78%时,此时薄膜呈非晶态结构,薄膜的自腐蚀电流密度达到1.198×10~(-7)A/cm~2,比钕铁硼基体降低了2个数量级,耐腐蚀性能最好。
关键词磁控溅射 钕铁硼磁体 铝锰合金薄膜 耐蚀性
收录类别CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:6054900
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文献类型期刊论文
条目标识符http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/71993
专题先进制造工艺力学重点实验室
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GB/T 7714
白巍栋,李光,夏原,等. NdFeB表面磁控溅射沉积Al-Mn薄膜的耐蚀性[J]. 金属热处理,2017,42(08):15-19.
APA 白巍栋,李光,夏原,高方圆,&李占贤.(2017).NdFeB表面磁控溅射沉积Al-Mn薄膜的耐蚀性.金属热处理,42(08),15-19.
MLA 白巍栋,et al."NdFeB表面磁控溅射沉积Al-Mn薄膜的耐蚀性".金属热处理 42.08(2017):15-19.
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