| 一种钕铁硼磁体表面防护的复合改性方法 |
| 夏原 ; 许亿; 李光
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| 2021-04-27
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| 专利权人 | 中国科学院力学研究所
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| 摘要 | 本发明实施例公开了本发明提供了一种钕铁硼磁体表面防护的复合改性方法，包括如下步骤：对钕铁硼磁体进行前处理；将磁体置于真空室的工件架上，抽离真空室空气；通过外加电源给工件架提供负偏压，完成对磁体的辉光清洗；通过高功率脉冲磁控溅射电源给Al靶材提供负偏压产生高密度的Al等离子体，同时通过外加电源给工件架提供负高压，并匹配两者脉冲波形，完成对工件的Al等离子体浸没离子注入沉积过程；通过单极脉冲磁控溅射电源给Al靶材提供负偏压，同时通过外加电源给工件架提供负偏压在工件表面沉积Al膜；重复上述磁控溅射和等离子体浸没离子过程，得到位于工件基体表面的复合改性涂层，提高钕铁硼磁铁表面耐腐蚀性能。 |
| 申请日期 | 2019-04-18
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| 授权日期 | 2021-04-27
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| 专利号 | ZL201910314786.7
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| 语种 | 中文
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| 授权国家 | 中国
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| 代理机构 | 北京和信华成知识产权代理事务所
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/87727
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| 专题 | 先进制造工艺力学实验室
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| 作者单位 | 中国科学院力学研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
夏原,许亿,李光. 一种钕铁硼磁体表面防护的复合改性方法. ZL201910314786.7[P]. 2021-04-27.
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文件名：
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20210427_0C_CN_0 (1).pdf
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格式：
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