| 一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法 |
| 夏原 ; 高方圆; 李光
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| 2021-12-24
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| 专利权人 | 中国科学院力学研究所
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| 摘要 | 本发明实施例涉及一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法，解决了现有制备技术中面临的沉积温度高，过程难控制以及成本昂贵等问题，保障了工业化生产过程中的工艺稳定性和可重复性。同时，柔性晶态薄膜在力学和宽波段光学透过性能方面表现出很大的优势，可以更好地用于表面防护涂层及红外窗口透明保护膜等，带来巨大的经济和社会效益。 |
| 申请日期 | 2020-03-27
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| 授权日期 | 2021-12-24
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| 专利号 | ZL202010227914.7
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| 语种 | 中文
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| 授权国家 | 中国
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| 代理机构 | 北京和信华成知识产权代理事务所
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/88139
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| 专题 | 先进制造工艺力学实验室
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| 作者单位 | 中国科学院力学研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
夏原,高方圆,李光. 一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法. ZL202010227914.7[P]. 2021-12-24.
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文件名：
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20211224_0C_CN_0 (4).pdf
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格式：
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Adobe PDF
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