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两种微纳生化功能器件的构建与力学分析 学位论文
博士论文，北京: 中国科学院研究生院, 2006
Authors:  任权
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射频(RF)MEMS开关的模拟、制备和力学分析 学位论文
硕士论文，北京: 中国科学院研究生院, 2003
Authors:  张立宪
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