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面向跨微纳尺度MEMS设计的建模仿真平台研究报告 科技报告
, 2013
作者:  赵亚溥
收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2022/11/28
MEMS, 跨尺度建模, 第一原理分子动力学(CPMD), 多物理场, 仿真建模平台, 分层建模, 碳纳米, 管力学传感器