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力学所建成高能冲击磁控溅射装备系统并开放服务 期刊论文
力学与实践, 2015, 卷号: 37, 期号: 1, 页码: 112
Authors:  高方圆
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力学所  表面工程  表面功能  先进制造工艺  磁控溅射  材料摩擦  开放服务  耐腐蚀性  装备研制  中国科学院