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MEMS结构残余变形的SEM电镜云纹法实验研究 会议论文
中国力学学会学术大会 2005, 北京, 2005
作者:  刘战伟;  谢惠民;  方岱宁;  孟永刚;  顾长志;  赵亚溥
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硅基MEMS技术 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 523-526
作者:  郝一龙;  张立宪;  李婷;  张大成
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微电子机械系统  牺牲层  体硅工艺  深刻蚀