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大尺寸碳化硅晶体生长中的热质传输及缺陷控制研究 学位论文
博士论文，北京: 中国科学院大学, 2021
作者:  朱鹏
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碳化硅晶体  物理气相输运法  流动-生长耦合动力学  热应力  位错动力学  
SiC晶体生长中流场的优化设计 期刊论文
工程热物理学报, 2011, 卷号: 32, 期号: 2, 页码: 308-311
作者:  颜君毅;  陈启生;  姜燕妮;  李炜
Adobe PDF(847Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：851/186  |  提交时间：2012/04/01
碳化硅晶体  Pvt法  场协同  浓度场  流场