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基片材料与沉积参数对薄膜应力的影响 期刊论文
光学学报, 2010, 卷号: 30, 期号: 02, 页码: 602-608
作者:  李玉琼
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薄膜光学  薄膜应力  哈特曼-夏克传感器  基片材料  沉积参数  离子辅助沉积