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HiPIMS室温溅射晶态氧化铝薄膜的粒子能量调控 期刊论文
中国表面工程, 2022, 页码: 8
作者:  高方圆;  许亿;  李国栋;  李光;  夏原
Adobe PDF(1191Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：213/45  |  提交时间：2022/10/17
HiPIMS  氧化铝薄膜  室温  晶化诱导  能量调控