中文版 | English

在结果中检索

IMECH-IR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
硅表层扩散杂质在CW-CO_2激光辐照后的电激活特性 期刊论文
北京大学学报(自然科学版), 1984, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 8-12
作者:  张玉峰;  杜永昌;  李大军;  李元恒
Adobe PDF(237Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：473/123  |  提交时间：2009/08/03
薄层电阻  电激活  扩散杂质  扩硼  激光辐照  辐照后  固溶度极限  Co_2激光  面密度  
扩硼Si在连续CO_2激光辐照后的特性 期刊论文
半导体学报, 1982, 卷号: 3, 期号: 4, 页码: 340-342
作者:  李元恒;  张玉峰;  吴书祥;  杜永昌
Adobe PDF(199Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：526/124  |  提交时间：2009/08/03
连续co_2激光  激光辐照  薄层电阻  扩硼  激光功率密度  辐照后  激光扫描速度  电激活  面密度