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涂层板的成形质量及其评价方法研究 学位论文
博士论文，北京: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  张凯
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微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量 期刊论文
电子元件与材料, 2004, 卷号: 23, 期号: 12, 页码: 13-16
作者:  王明军;  周勇;  陈吉安;  杨春生;  张亚民;  高孝裕;  周志敏;  张泰华
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材料测量与分析技术  镍膜微桥  Mems技术  弹性模量  残余应力  
微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究 期刊论文
现代科学仪器, 2004, 期号: 4, 页码: 24-27
作者:  周勇;  王明军;  杨春生;  陈吉安;  王莉;  丁桂甫;  张亚民;  高孝裕;  张泰华
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Ni膜微桥  Mems技术  力学性能  
Microbridge testing of Young's modulus and residual stress of nickel film electroplated on silicon wafer 期刊论文
Acta Metallurgica Sinica(English Letters), 2004, 卷号: 17, 期号: 3, 页码: 247-254
作者:  Zhou Y;  Yang CS;  Chen JA;  Ding GF;  Wang L;  Wang MJ;  Zhang YM;  Zhang TH(张泰华)
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Nickel Film Microbridge  Mems  Mechanical Property  Loadeflection Measurement  
微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 3, 页码: 66-71
作者:  陈吉安;  杨春生;  周勇;  丁桂甫;  王莉;  王明军;  张亚民;  张泰华
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Ni膜微桥  Meme技术  力学特性