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原子力显微镜形貌测量偏差的机理分析及修正方法 期刊论文
力学学报, 2011, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 112-121
作者:  徐金明;  白以龙
Adobe PDF(989Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：577/128  |  提交时间：2012/04/01
Afm  形貌测量偏差  高频信号  结构设计  各阶本征频率相对值