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离子束淀积方法制备GdSi_2薄膜 期刊论文
半导体学报, 2004, 卷号: 25, 期号: 8, 页码: 972-975
作者:  李艳丽;  陈诺夫;  周剑平;  宋书林;  杨少延;  刘志凯
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离子束淀积  X射线衍射  Gdsi