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微电子机械系统中的残余应力问题 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 393
作者:  钱劲;  刘澂;  张大成;  赵亚溥
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微电子机械系统  残余应力  薄膜  屈曲  粘附  响应频率  
材料磨损与微电子机械系统中的磨损现象 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 511
作者:  邓忠民;  谢季佳;  周承恩;  洪友士
Adobe PDF(369Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：703/178  |  提交时间：2010/05/03
磨损  微电子机械系统  研究现状  
材料磨损与MEMS中的磨损现象 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 511-515
作者:  邓忠民;  谢季佳;  周承恩;  洪友士
Adobe PDF(376Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：896/244  |  提交时间：2007/06/15
Residual Stresses in Micro-Electro-Mechanical Systems 期刊论文
机械强度, 2001, 期号: 4, 页码: 393-401
作者:  Qian J(钱劲);  Liu C(刘澄);  Zhang DC(张大成)
Adobe PDF(612Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：799/337  |  提交时间：2007/06/15