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Stiction and Anti-Stiction in Mems and Nems 期刊论文
Acta Mechanica Sinica, 2003, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 1-10
作者:  Zhao YP(赵亚溥);  Zhao, YP (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, LNM, Beijing 100080, Peoples R China.
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