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高温MEMS剪应力传感器残余应力分析 期刊论文
力学与实践, 2010, 卷号: 32, 期号: 1, 页码: 60-63
作者:  纪科星;  宋宏伟;  范学军
Adobe PDF(637Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:816/173  |  提交时间:2010/05/03
Mems  剪应力传感器  残余应力  有限元