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Contact Mechanics in Flexural MEMS Stiction 会议论文
第十二届全国物理力学学术会议, 中国广西桂林, 2012/11/12
作者:  Zhang Y(张吟);  Zhao YP(赵亚溥)
Adobe PDF(453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：481/198  |  提交时间：2014/01/27
Stiction  Adhesion  Microcantilever  Interface