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Extended Stoney'S Formula For A Film-Substrate Bilayer With The Effect Of Interfacial Slip 期刊论文
Journal of Applied Mechanics-Transactions of the ASME, 2008
作者:  Zhang Y(张吟);  Zhang, Y (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, State Key LNM, Beijing 100080, Peoples R China.
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Compressed Elastic Film  Thin-films  Viscous Layer  Wafer Fusion  Stress  Beam  Semiconductors  Technology  Extension  Adhesion