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Two-dimensional simulation of inductive plasma sources with self-consistent power deposition 期刊论文
IEEE Transactions on Plasma Science, 1995, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 558-562
作者:  Li M;  Wu HM(吴汉明);  Chen YM
Adobe PDF(424Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：641/253  |  提交时间：2009/08/03
Electron-cyclotron Resonance  Energy-distributions  Frequency