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大尺寸碳化硅晶体生长中的热质传输及缺陷控制研究 学位论文
博士论文，北京: 中国科学院大学, 2021
作者:  朱鹏
Microsoft Word(17411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1052/5  |  提交时间：2021/06/02
碳化硅晶体  物理气相输运法  流动-生长耦合动力学  热应力  位错动力学