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稀薄气体动力学:进展与应用 期刊论文
力学进展, 2013, 卷号: 43, 期号: 2, 页码: 185-201
作者:  樊菁
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稀薄气体动力学  分子模拟方法  高超声速飞行器  微电子机械系统  薄膜沉积  
MEMS材料力学性能的测试技术 期刊论文
力学进展, 2002, 卷号: 32, 期号: 4, 页码: 545-562
作者:  张泰华;  杨业敏;  赵亚溥;  白以龙
Adobe PDF(1600Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1538/534  |  提交时间:2010/05/03
微电子机械系统  力学性能  纳米压痕/划痕  弯曲  拉伸  扭转  
Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论 期刊论文
力学进展, 2000, 卷号: 30, 期号: 4, 页码: 529
作者:  赵亚溥;  王立森;  孙克豪
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Mems  尺度效应  表面效应  微尺度粘着接触  Tabor数  粘着数  晶片键合