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微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用 期刊论文
机械强度, 2005, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 331-334
作者:  郇勇;  张泰华;  杨业敏;  阮勇;  张大成
Adobe PDF(190Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1087/386  |  提交时间：2007/06/15
微电子机械系统  键合  微悬臂梁  强度  
微电子机械系统中的残余应力问题 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 393
作者:  钱劲;  刘澂;  张大成;  赵亚溥
Adobe PDF(612Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：813/230  |  提交时间：2010/05/03
微电子机械系统  残余应力  薄膜  屈曲  粘附  响应频率  
微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 447-451
作者:  何小元;  康新;  衡伟;  黄庆安
Adobe PDF(452Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：454/159  |  提交时间：2010/05/03
微电子机械系统  微电子  光测力学  
MEMS器件的计算机辅助设计与模拟 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 488
作者:  孙克豪;  钱劲;  张立宪;  余同希;  赵亚溥
浏览  |  Adobe PDF(538Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：765/224  |  提交时间：2010/05/03
微电子机械系统  计算机辅助设计  模拟  数据库  
C_(60)自组装单分子膜的制备及其摩擦特性 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 507-510
作者:  任嗣利;  赵亚溥;  杨生荣;  孟永宏;  王占会
Adobe PDF(324Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：735/170  |  提交时间：2010/05/03
微电子机械系统  自组装单分子膜  摩擦特性  C60  
硅基MEMS技术 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 523-526
作者:  郝一龙;  张立宪;  李婷;  张大成
Adobe PDF(307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：805/226  |  提交时间：2010/05/03
微电子机械系统  牺牲层  体硅工艺  深刻蚀  
材料磨损与微电子机械系统中的磨损现象 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 511
作者:  邓忠民;  谢季佳;  周承恩;  洪友士
Adobe PDF(369Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：702/177  |  提交时间：2010/05/03
磨损  微电子机械系统  研究现状  
微尺度流动特性 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 476
作者:  李战华;  崔海航
Adobe PDF(362Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1353/431  |  提交时间：2007/06/15
微电子机械系统  液体流动  尺度效应  
微型材料的拉伸测试方法研究 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 430
作者:  张泰华;  杨业敏;  赵亚溥;  余同希;  孙庆平
Adobe PDF(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1220/461  |  提交时间：2007/06/15
微电子机械系统  微型材料  拉伸  
微电子与微机械系统（MEMS）中的现代光学测试技术 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 447-451
作者:  何小元;  康新;  衡伟;  黄庆安
Adobe PDF(226Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：457/123  |  提交时间：2007/06/15