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中频对靶磁控溅射沉积工艺及薄膜特性研究 学位论文
硕士论文,北京: 中国科学院研究生院, 2008
Authors:  贾军伟
Adobe PDF(2221Kb)  |  Favorite  |  View/Download:312/4  |  Submit date:2009/04/13