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SiC晶体生长中流场的优化设计 期刊论文
工程热物理学报, 2011, 卷号: 32, 期号: 2, 页码: 308-311
作者:  颜君毅;  陈启生;  姜燕妮;  李炜
Adobe PDF(847Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：851/186  |  提交时间：2012/04/01
碳化硅晶体  Pvt法  场协同  浓度场  流场