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中频对靶磁控溅射沉积工艺及薄膜特性研究 学位论文
硕士论文,北京: 中国科学院研究生院, 2008
作者:  贾军伟
Adobe PDF(2221Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:420/6  |  提交时间:2009/04/13