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电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型 会议论文
LHD2011夏季学术研讨会, 内蒙赤峰, 2011
作者:  李帅辉;  樊菁;  舒勇华
Adobe PDF(888Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：516/159  |  提交时间：2014/01/23
电子束物理气相沉积（ebpvd）  非平衡蒸气粒子输运模型  自由分子流假设失效判据  金属蒸气粒子vhs  模型参数  直接模拟monte  Carlo（dsmc）方法  大面积均匀薄膜制备工艺