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一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法 专利
发明专利. 一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法, 专利号: ZL202010227914.7, 申请日期: 2020-03-27, 授权日期: 2021-12-24
发明人:  夏原;  高方圆;  李光
Adobe PDF(672Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:194/36  |  提交时间:2022/01/14
一种高熵合金组合物、高熵合金薄膜及高熵合金靶材和薄膜的制备方法 专利
发明专利. 一种高熵合金组合物、高熵合金薄膜及高熵合金靶材和薄膜的制备方法, 专利号: ZL202010316745.4, 申请日期: 2020-04-21, 授权日期: 2021-10-08
发明人:  夏原;  许亿;  李光
Adobe PDF(751Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:131/18  |  提交时间:2022/01/14
一种类金刚石薄膜的制备方法 专利
发明专利. 一种类金刚石薄膜的制备方法, 专利号: ZL202010317118.2, 申请日期: 2021-04-21, 授权日期: 2021-01-05
发明人:  夏原;  许亿;  李光
Adobe PDF(371Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:120/33  |  提交时间:2021/11/19
磁控溅射AlCrTiVZr高熵合金薄膜及高温性能研究 学位论文
硕士论文,北京: 中国科学院大学, 2019
作者:  文偲嘉
Adobe PDF(2700Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:532/11  |  提交时间:2019/05/30
高熵合金  耐高温性能  磁控溅射  微观结构  硬度  
一种基于反应溅射迟滞效应的TiAlSiN涂层制备方法 专利
发明专利. 一种基于反应溅射迟滞效应的TiAlSiN涂层制备方法, 专利号: ZL201710328563.7, 申请日期: 2017-05-11,
发明人:  夏原;  高方圆;  李光
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NdFeB表面磁控溅射沉积Al-Mn薄膜的耐蚀性 期刊论文
金属热处理, 2017, 卷号: 42, 期号: 08, 页码: 15-19
作者:  白巍栋;  李光;  夏原;  高方圆;  李占贤
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磁控溅射  钕铁硼磁体  铝锰合金薄膜  耐蚀性  
梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石膜的耐磨性影响 期刊论文
表面技术, 2017, 卷号: 46, 期号: 01, 页码: 82-87
作者:  赵佳群;  李刘合;  景凯;  许亿;  刘红涛;  李光
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类金刚石涂层  梯度过渡层  硬质合金  耐磨性  真空阴极电弧  Pecvd  
发射光谱反馈控制磁控溅射制备Cr-DLC多层膜 学位论文
硕士论文,北京: 中国科学院大学, 2016
作者:  朱洪亚
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Plasma characteristics and dynamics in a high power pulsed magnetron sputtering discharge 期刊论文
中国科学院大学学报, 2015, 卷号: 32, 期号: 2, 页码: 145-154
作者:  Xia Y(夏原);  Gao FY(高方圆);  Li G(李光)
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Hipims  Hppms  等离子体动力学  放电特性  高离化率  
高能冲击磁控溅射等离子体发生与成膜控制平台 仪器设备
联系方式: 010-82544266, 建成日期: 2014
作者:  李光
JPEG(19Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:162/25  |  提交时间:2019/09/17