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| 一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法 专利 发明专利. 一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法, 专利号: ZL202010227914.7, 申请日期: 2020-03-27, 授权日期: 2021-12-24 发明人: 夏原; 高方圆; 李光 Adobe PDF(672Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:194/36  |  提交时间:2022/01/14 |
| 一种高熵合金组合物、高熵合金薄膜及高熵合金靶材和薄膜的制备方法 专利 发明专利. 一种高熵合金组合物、高熵合金薄膜及高熵合金靶材和薄膜的制备方法, 专利号: ZL202010316745.4, 申请日期: 2020-04-21, 授权日期: 2021-10-08 发明人: 夏原; 许亿; 李光 Adobe PDF(751Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:131/18  |  提交时间:2022/01/14 |
| 一种类金刚石薄膜的制备方法 专利 发明专利. 一种类金刚石薄膜的制备方法, 专利号: ZL202010317118.2, 申请日期: 2021-04-21, 授权日期: 2021-01-05 发明人: 夏原; 许亿; 李光 Adobe PDF(371Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:120/33  |  提交时间:2021/11/19 |
| 磁控溅射AlCrTiVZr高熵合金薄膜及高温性能研究 学位论文 硕士论文,北京: 中国科学院大学, 2019 作者: 文偲嘉 Adobe PDF(2700Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:532/11  |  提交时间:2019/05/30 高熵合金 耐高温性能 磁控溅射 微观结构 硬度 |
| 一种基于反应溅射迟滞效应的TiAlSiN涂层制备方法 专利 发明专利. 一种基于反应溅射迟滞效应的TiAlSiN涂层制备方法, 专利号: ZL201710328563.7, 申请日期: 2017-05-11, 发明人: 夏原; 高方圆; 李光 浏览  |  Adobe PDF(783Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:155/44  |  提交时间:2020/02/09 |
| NdFeB表面磁控溅射沉积Al-Mn薄膜的耐蚀性 期刊论文 金属热处理, 2017, 卷号: 42, 期号: 08, 页码: 15-19 作者: 白巍栋; 李光; 夏原; 高方圆; 李占贤 浏览  |  Adobe PDF(1134Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:269/62  |  提交时间:2017/12/22 磁控溅射 钕铁硼磁体 铝锰合金薄膜 耐蚀性 |
| 梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石膜的耐磨性影响 期刊论文 表面技术, 2017, 卷号: 46, 期号: 01, 页码: 82-87 作者: 赵佳群; 李刘合; 景凯; 许亿; 刘红涛; 李光 浏览  |  Adobe PDF(4642Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:313/93  |  提交时间:2017/12/22 类金刚石涂层 梯度过渡层 硬质合金 耐磨性 真空阴极电弧 Pecvd |
| 发射光谱反馈控制磁控溅射制备Cr-DLC多层膜 学位论文 硕士论文,北京: 中国科学院大学, 2016 作者: 朱洪亚 Adobe PDF(4264Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:463/4  |  提交时间:2016/08/29 |
| Plasma characteristics and dynamics in a high power pulsed magnetron sputtering discharge 期刊论文 中国科学院大学学报, 2015, 卷号: 32, 期号: 2, 页码: 145-154 作者: Xia Y(夏原); Gao FY(高方圆); Li G(李光) 浏览  |  Adobe PDF(1949Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:303/76  |  提交时间:2015/12/25 Hipims Hppms 等离子体动力学 放电特性 高离化率 |
| 高能冲击磁控溅射等离子体发生与成膜控制平台 仪器设备 联系方式: 010-82544266, 建成日期: 2014 作者: 李光 JPEG(19Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:162/25  |  提交时间:2019/09/17 |