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多弧离子镀膜设备中直线型磁过滤装置的研究和应用 学位论文
博士论文,北京: 中国科学院研究生院, 1999
作者:  朱武飚
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镀膜技术  过滤装置  离子镀膜  蒙特卡模拟  复层保护