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中国科学院力学研究所机构知识库
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力学所知识产出(19... [1]
作者
张泰华 [1]
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2003 [1]
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出处
微纳电子技术 [1]
收录类别
国内刊物 [1]
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纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用
期刊论文
微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7/8, 页码: 212-214
作者:
张泰华
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提交时间：2007/06/15
