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真空辐射加热基片的温度分布 期刊论文
力学与实践, 2006, 卷号: 28, 期号: 3, 页码: 19-23
作者:  李帅辉;  舒勇华;  唐锦荣;  樊菁
Adobe PDF(255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：704/229  |  提交时间：2007/06/15
薄膜气相沉积  真空辐射加热  基片温度分布