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MEMS稀薄气体内部流动模拟中的信息保存(IP)法 期刊论文
力学进展, 2006, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 142-150
作者:  沈青
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纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7/8, 页码: 212-214
作者:  张泰华
Adobe PDF(111Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：766/365  |  提交时间：2007/06/15